2020年中國光刻機產業發展現狀和競爭分析
競爭格局——CR3超過90％
目前，全球光刻機市場的主要企業即ASML，尼康（Nikon）和佳能（Canon）三家，從光刻機銷售額來看，2019年三家企業的合計市場份額就占到了全球光刻機市場的90％以上。其中ASML由于其技術領先，壟斷了第五代光刻機（EUV光刻機），獨占75％的市場份額，Nikon與Canon分別占據13％和6％的市場份額。
細分格局——i－line光刻機出貨最多
從細分市場來看，近年來，市場上銷售的光刻機主要為EUV光刻機、ArF lm光刻機、ArF Dry光刻機、KrF光刻機和i－line光刻機。從2019年這五類光刻機的銷量情況來看，i－line光刻機的銷量最高，為116臺。在這116臺中，Canon公司貢獻了一半以上。
從企業的角度來看，Canon主要的光刻機銷售都集中在i－line光刻機這一類型；Nikon的光刻機銷售則縱向跨度較大，在除EUV之外的類型均有涉及，其中以Arf和i－line的領域較為突出；ASML則在除i－line光刻機之外的領域均具有較強的統治力。
行業供給——銷售量略有下降
從行業供給來看，2014－2018年，光刻機top3企業銷售量呈現波動增長的態勢。2019年，光刻機銷售量有所下滑，僅為354臺，較2018年下降了3．8％。2020年第一季度，全球光刻機top3企業銷售量實現85臺。
國產企業——行業正在加快研發進度
長期以來，我國的光刻技術落后于先進國家，成為我國工業現代化進程的一塊短板。近年來，在國家政策的扶持以及一批龍頭企業的帶領下，我國光刻機技術也開始了飛速的發展，由長春光機所牽頭承擔的國家科技重大專項02專項——“極紫外光刻（EUVL）關鍵技術研究”項目也順利完成了驗收前現場測試。
但我國企業在光刻機制造方面距離世界頭部企業仍有一定的距離，光刻機行業研發進度仍待加快。
我國光刻機相關領先企業技術進展情況如下所示：
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