【聚焦】全球靜電吸盤市場高度集中 中國市場剛起步
巨大的下游市場配合積極的國家產業政策與活躍的社會資本,正在全方位、多角度地支持國內半導體行業發展,共同推動我國靜電吸盤(ESC)等半導體配套設備國產化穩步進行,為中國靜電吸盤(ESC)廠商的發展壯大創造了機遇。
靜電吸盤又稱靜電卡盤(英文簡稱:ESC或E-Chuck)是一種利用靜電吸附原理夾持固定被吸附物的夾具,適用于真空及等離子體環境,主要作用是吸附超潔凈薄片(如硅片),并使吸附物保持較好的平坦度,可以抑制吸附物在工藝中的變形,還能夠調節吸附物的溫度。
靜電吸盤相較于機械卡盤,減少了機械運動部件,顆粒污染降低,增大了晶片的有效面積;與真空吸盤比較,靜電吸盤可用于低壓強(真空)環境,適用于需要利用卡盤控制晶片溫度的場合。鑒于以上優點,靜電吸盤現已在半導體、平板顯示、光學元件、太陽能光伏等領域中被廣泛采用。
靜電吸盤(ESC)行業的發展與半導體設備配套需求密切相關。近年來,隨著國家加大半導體領域的投入,我國半導體設備采購額逐年增加,推動了包括靜電吸盤(ESC)在內的核心部件的采購量增長。此外,隨著中國大陸晶圓產能的建設和擴產,中國成為全球晶圓產能增長的重心,帶動國產半導體設備的需求增長,為國產靜電吸盤(ESC)的發展提供了良好的機遇。
根據新思界產業研究中心發布的《2020年全球及中國靜電吸盤(ESC)產業深度研究報告》,2019年,全球地區靜電吸盤(ESC)市場規模為34.13億元,其中,北美地區靜電吸盤(ESC)市場規模為12.78億元,歐洲地區靜電吸盤(ESC)市場規模為9.10億元,中國靜電吸盤(ESC)行業市場規模為2.56億元。
全球靜電吸盤市場具有高度壟斷性,由日本和美國企業主導,美國企業主要有美國AMAT(應用材料)、美國LAM(泛林集團),日本企業主要有Shinko(新光電氣)、TOTO、NTK CERATEC等。國際巨頭長期控制著全球靜電吸盤產品的供應鏈,市場集中度較高。
中國靜電吸盤行業發展時間較短,目前正處于起步階段,市場競爭力較弱。除了北京華卓精密科技股份有限公司、廣東海拓創新精密設備科技有限公司已經實現商業化生產外,其他大部分企業,如北京軟體機器人科技有限公司、浙江新納陶瓷新材有限公司、中山市思考電子科技有限公司尚處于研發階段,目前僅能進行靜電吸盤的維修以及更換,在生產方面尚不成熟。
新思界行業研究員表示,中國擁有全球最大且增速最快的半導體消費市場。2019年,中國集成電路產業產值達7562億元,比2018年增長15.77%。然而,我國國產設備及靜電吸盤(ESC)等核心部件的國產化率仍較低,具有較強的替代需求。巨大的下游市場配合積極的國家產業政策與活躍的社會資本,正在全方位、多角度地支持國內半導體行業發展,共同推動我國靜電吸盤(ESC)等半導體配套設備國產化穩步進行,為中國靜電吸盤(ESC)廠商的發展壯大創造了機遇。
新思界產業研究院
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